紫外线照明设备的开发、制造和销售

用途

• UV臭氧洗净
• 干式蚀刻 / 软件灰化
• UV退火
• 表面改性
• 去除光刻胶残渣
• 玻璃粘合
• CVD光等的成膜
• 滚子和胶卷的清洗，改性

• + TFT玻璃洗净
• + 蚀刻前的洗净
• + 电解工艺前的洗净
• + COG工艺前的洗净
• 其他有机EL、PDP等的生产工艺

规格

嵌入式类型 2～3灯光系统

成批处理类型 6～12灯光系统