Quark发明实现了通过面发光的灯
- 和以前的准分子照明设备相比、172纳米辐射强度大3倍，照明强度大3倍
- 半导体过程中需要的照度分布，把以前的±15%实现了高密度高分布的±5%
- 改变灯箱的结构也可以对应真空处理
准分子灯用的研究结果，在由本公司和一起共同研究的相关部门的综合集中予以汇总下载。
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| Preparation of Sol-Gel Derived TiO2 TF with VUV Irradiation by a Xe2* Excimer Lamp |  1 2 3 4 |
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| Preparation of Properties of BiLaTiOFerroelectric TF with Excimer VUV Irradiation | 1 2 3 4 5 6 |
| Room Temp Photochem. Fab. of Silica Glass Coatings with Excimer VUV Lamps | 1 2 |
| Decomposition Test Result of Chlorine Organic Compound by 222nm Excimer Lamp | |
