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准分子紫外线照明设备

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6英寸准分子照明设备  QEV160

用途

  • UV臭氧洗净
  • 干式蚀刻/软件灰化
  • UV退火
  • 表面改性
  • 去除光刻胶残渣
  • 玻璃粘合
  • CVD光等的成膜

规格

电源

设定功率 800W／1unit
电源电压 AC100V±10Ｖ, 50Hz／60Hz
外形尺寸 480(W)×439(D)×149(H)mm
重量 8kg

灯箱

灯光 3条 波长 172nm 10mW/cm2
照明窗 176×176mm
外形尺寸 232(W)×498(D)×289(H)mm
重量 10kg
冷却 自来水 以及 氮气
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6英寸照明设备QEV160外观 6英寸照明设备 
QEV160外观
6英寸照明设备QEV160電源
6英寸照明设备QEV160外观 QEF160 外观图
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6英寸照明设备QEV160電源外观図 QEF160电源外观图
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6英寸高输出照射设备  QEF160

用途

  • UV臭氧洗净
  • 干式蚀刻/软件灰化
  • UV退火
  • 表面改性
  • 去除光刻胶残渣
  • 玻璃粘合
  • CVD光等的成膜

规格

电源

设定功率 500W／1unit
电源电压 AC200V  3相
外形尺寸 505(W)×545(D)×120(H)mm
重量 18kg
冷却 自来水

灯箱

灯光 172nm波长平板型
照明强度 30mW/cm2 照明分布±5%
照明窗 167×167mm
外形尺寸 400(W)×300(D)×184.3(H)mm
重量 12kg
冷却 氮气
功能

照明度显示屏功能

输出控制功能

可以安装在真空设备中
新产品 输出波长126nm真空紫外线的照明设备
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6英寸高输出照射设备QEF160外观 6英寸高输出照明设备
QEF160外观
6英寸照明设备QEF160電源
6英寸高输出照射设备QEF160外观 QEF160 外观图
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6英寸高输出照射设备QEF160電源外观図 QEF160电源外观图
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