损伤少

电晕放电/等离子方式是直接对工件进行放电。从而会产生损伤。准分子灯仅仅只是通过真空紫外线的照射，因此基本不产生损伤。

无照射不平均

利用光来实现的准分子方式，不会像以放电方式来实现的电晕放电/等离子方式那样产生照射不均匀的情况。准分子方式可以实现大面积、均一的高处理效果。