UV-LED照射装置
アプリケーション例
レジスト硬化
ナノインプリント硬化
ダイシングテープ剝離
貼り合わせUV硬化
ブリーチング
分光/検査用光源
UV-LED導入のメリット
従来の紫外線照射で使用されてきた水銀ランプに比べ、UV-LED光源は寿命が長く、ランニングコストやメンテナンス回数を削減できます。
環境保全の観点からもUV-LED光源への転換が進んでいます。
当社LED装置の特長
紫外線に反応する素材は多種多様で、材料ごとに反応する紫外線の波長が異なります。
材料によっては2種類以上の波長を照射することで、目的の効果を得られる場合があります。
当社UV-LED装置は必要な波長、照射強度、ワークサイズに合わせてオーダーメイドしており、最適条件でUV処理を行うことが可能です。
製品タイプ
面照射型ユニット(SQ/CIシリーズ) | |
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照射面積を自由にカスタマイズできます。 ワークの一括照射に向いており、複数波長の同時照射が可能です。 |
インライン照射型ユニット(RUシリーズ) | |
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搬送処理に対応した高照度モデルです。 高密度で実装されたLEDにより、高い均一性を実現しています。 |
線照射型ユニット(LEシリーズ) | |
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LED搭載数を抑えた低価格モデルです。 集光レンズを搭載し、局所的に高照度での照射が可能です。 |
各シリーズスペック概要 | 対応ワークサイズ | 波長 | 均一性 | 冷却方法 | 照度 | |
面照射型ユニット | SQ Series | ~□1000mm |
265~405nm (複数波長搭載可能) |
±5% | 水冷(推奨) |
405nm:400mW/cm² 385nm:400mW/cm² 365nm:400mW/cm² |
CI Series | ~Φ300mm | |||||
インライン照射型ユニット | RU Series |
~2000mm (ライン幅) |
265~405nm | ±5% | 水冷(推奨) |
365nm:3000mW/cm² 340nm:100mW/cm² 265nm:100mW/cm² |
線照射型ユニット | LE Series |
~2000mm (ライン幅) |
265~405nm | ±10% | 水冷(推奨) |
365nm:2000mW/cm²
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