紫外線照射機器トータルシステムの開発・製造・販売

UV-LED照射装置

 アプリケーション例 

レジスト硬化

ナノインプリント硬化

ダイシングテープ剝離

貼り合わせUV硬化

ブリーチング

分光/検査用光源

 

 

UV-LED導入のメリット

従来の紫外線照射で使用されてきた水銀ランプに比べ、UV-LED光源は寿命が長く、ランニングコストやメンテナンス回数を削減できます。

環境保全の観点からもUV-LED光源への転換が進んでいます。

 

 

当社LED装置の特長

紫外線に反応する素材は多種多様で、材料ごとに反応する紫外線の波長が異なります。

材料によっては2種類以上の波長を照射することで、目的の効果を得られる場合があります。

当社UV-LED装置は必要な波長、照射強度、ワークサイズに合わせてオーダーメイドしており、最適条件でUV処理を行うことが可能です。 

 

 

 

 

製品タイプ 

面照射型ユニット(SQ/CIシリーズ)

照射面積を自由にカスタマイズできます。

ワークの一括照射に向いており、複数波長の同時照射が可能です。

インライン照射型ユニット(RUシリーズ)

搬送処理に対応した高照度モデルです。

高密度で実装されたLEDにより、高い均一性を実現しています。

線照射型ユニット(LEシリーズ)

LED搭載数を抑えた低価格モデルです。

集光レンズを搭載し、局所的に高照度での照射が可能です。

  各シリーズスペック概要 対応ワークサイズ 波長 均一性 冷却方法 照度
面照射型ユニット SQ Series ~□1000mm

265~405nm

(複数波長搭載可能)

±5% 水冷(推奨)

405nm:400mW/cm²

385nm:400mW/cm²

365nm:400mW/cm²

CI Series ~Φ300mm
インライン照射型ユニット RU Series

~2000mm

(ライン幅)

265~405nm ±5% 水冷(推奨)

365nm:3000mW/cm²

340nm:100mW/cm²

265nm:100mW/cm²

線照射型ユニット LE Series

~2000mm

(ライン幅)

265~405nm ±10% 水冷(推奨)

 

365nm:2000mW/cm²