技術原理
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エキシマランプ
エレクトロニクス微細加工技術は革新が進みつづけています。これにともない半導体など先端技術の製造工程では、デコンタミネーション、表面処理が不可欠になりました。このためのキーテクノロジーには真空紫外光（VUV)を用いる基板表面のドライ洗浄ないし改質があります。洗浄能力の向上、処理時間の短縮が常に要求されつづけています。
この市場ニーズに応えるテクノロジーとしてエキシマVUV光が非常に有効な手段として認められ、注目されています。 -
UV-LED
UV硬化、乾燥など紫外線光源は、高圧水銀ランプやメタルハライドランプにより行われてきました。
近年、UV-LEDの高出力化によりランプを使用せずLEDによる処理が可能となりました。
ランプに比べLED照射装置は、長寿命、低消費電力であり被照射物への熱によるダメージを与えることなく処理できることが特徴です。