紫外線照射機器トータルシステムの開発・製造・販売

神奈川県工業技術開発大賞を受賞しました。

2023年12月14日に発表された「第38回神奈川工業技術開発大賞」の

大賞として当社の「紫外線レーザーを用いたレーザーリフトオフ技術の製品化」が選ばれました。

 

半導体製造に革命をもたらす紫外線レーザーを用いて熱によるひずみや損傷を軽減し、

ビームの形状や出力を最適化して長寿命化を図った技術です。

 

355nmレーザ光源と光学系を含めたトータルシステムとして、

WLPやPLPのレーザリフトオフや、フレキシブル基板のカッティングなど

今後更に需要は拡大すると予想しております。

 

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